新しい技術やデバイスにより、さらに微細な不具合を解析可能にします。
X線によるディテクタ傾斜や試料回転時に着目ポイントが動かないユーセントリックステージ、
高アスペクト比の試料を高倍率でCT撮影できる”3次元斜めCT”など、
世界初開発の機能で”ナノワールド”のX線解析装置を提供します。